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              光刻机专用UV-LED光源

              ① 曝光面积: 4'', 6'', 8''
              ② 波段: 365nm, 385nm, 395nm, 405nm
              单波段和双波段耦合
              ③  有效工作面积:
              4'': 110*110mm
              6'': 160*160mm
              8'': 200*200mm
              ④  不均匀性: ≤4%  (max-min)/ (max+min) *100%
              ⑤ 光强/能量值:
              4'': >100mw@365nm  25A
              6'': > 50mw@365nm   25A

              8'': 25-50mw@365nm 25A

              ⑥ 平行半角:

              4'': ≤1.8°

              6'': ≤1.3°

              8'': ≤1.2°-2°

              ⑦ 工作距离: 100-350nm

              ⑧ 水冷方式

              豫公网安备 41072102000587号

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